E-BOMBERのアホアホブログ

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わしの電子工学用語集(25)

電気屋は電気のことだけしっとればエエもんではナイ。化学プロセスを使う半導体屋や電気電子材料屋は化学の知識があれへんかったらあかんからや。

半導体なんかの結晶成長さすのに用いる装置もその多くは化学反応を利用しとって、成長さす際の圧力や原料ガスの流量の測定が不可欠になったある。


圧力計

manometer, pressure gauge

気体や液体など流体の圧力を測定するのに用いられる計測機器。大気圧よりも低い真空度を測る真空計や、逆に大気圧よりもかなり高い圧力を測る高圧計、2つの系の圧力差を測る差圧計などがある。

[詳説]圧力計は水銀柱など圧力の定義に基いて計測を行う一次圧力計と、圧力が印加された物体の変化率を利用する二次圧力計とに大別され、二次圧力計の使用の際には一次圧力計による校正を必要とする。但し、一次圧力計は一般に精確な圧力測定に不向きであることを留意すべきである。

精密な圧力測定用の二次圧力計には、ダイヤフラム(隔壁・隔膜)・ベローズ(蛇腹・鞴(ふいご))・アネロイド(空盒(くうごう);中空を真空にした金属容器)・ブルドン管(C字形の金属管)のような、特殊な金属を加工した感圧素子が利用され、これらが圧力差によって変形することを利用して、てこやひずみゲージを用いて指針を動かし、あるいは静電容量の変化量などから圧力差を知るものである。これら感圧素子の弾性変化を機械的に検知する原理の圧力計を弾性圧力計という。

上記の感圧素子にひずみゲージを装着し、電気抵抗値の変化によって圧力を知るのが電気抵抗式圧力計であり、内燃機関の内圧測定には水晶を材料とした圧電素子を用いた圧電圧力計が向いている。

真空測定には液柱や弾性圧力計が用いられる。高真空測定では、放電現象などを利用した真空計がある。

→真空計

ナノ加工技術の進展によりMEMSの超小型の圧力センサの作製が可能になった。これは上記の隔膜の圧力変化をひずみゲージや静電容量変化を用いて検知するものである。または、減衰振動の振動のQ値(共振鮮鋭度)が気圧に依存することを利用した圧力センサもある。

→MEMS

(本文ここまで)

ダイヤフラムいうたらジェット機とかについてる圧力隔壁かてその一種やな。85年8月の日航機事故は、機体後部側の圧力隔壁が74年の「しりもち事故」で破損してんけど、ボーイング社での修理不良が原因でこの隔壁が与圧された機内と外との気圧差に負けて吹き飛んで、垂直尾翼やAPU(補助動力装置)を喪失さした上、油圧系統が全滅して操縦不能になったんやったな。